坩埚

摘要

本实用新型公开了一种坩埚，应用于多晶硅铸锭生产，所述坩埚包括四块侧板及一块底板，四块所述侧板围合形成所述收容腔，所述底板与四块所述侧板连接，以封闭所述收容腔的一端。本实用新型提供的坩埚通过在坩埚的收容腔远离其底部的侧壁上开设多个排气通孔，从而使得在生产过程中，当从上往下充入惰性气体时，由于坩埚的收容腔侧壁上开设有通孔，坩埚内生成的一氧化碳和/或二氧化碳气体能够由于压力作用及时通过多个排气通孔排出，替代了现有的采用将气体从下往上升并通过坩埚外部的石墨护板将气体排出去的设计，降低了生成的硅锭的碳、氧含量，并进一步提高了硅片的生产质量。本实用新型提供的坩埚具有结构简单、便于加工的优点。

主权项

一种坩埚，应用于多晶硅铸锭生产，其特征在于，所述坩埚包括收容腔，所述收容腔侧壁远离其底壁的的一端上开设有排气通孔，所述坩埚还包括四块护板，四块所述护板分别围合于所述坩埚的四块侧板的外部，四块所述护板临近各所述排气通孔的一端上均开设有通孔，所述通孔的中心至所述坩埚的底板之间的距离为所述坩埚高度的五分之二至五分之四，并且所述通孔的开孔尺寸大于所述排气通孔的开孔尺寸。