| 发明名称 | 基板对位机构与基板对位方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板对位机构与基板对位方法。本发明的基板对位机构，通过在支撑柱顶部设置滚珠，可削减对位时基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免基板背面刮伤，从而改善基板薄化不良。本发明的一种基板对位方法，通过在基板传送设备中设置上述基板对位机构，削减了对位过程中基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免了基板背面刮伤，从而改善了基板薄化不良。本发明的另一种基板对位方法，通过在基板旋转设备中设置上述基板对位机构，削减了对位过程中基板与支撑柱发生相对位置移动所产生的摩擦力，避免了基板背面刮伤，从而改善了基板薄化不良。 | ||
| 申请公布号 | CN105197495A | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201510546477.4 | 申请日期 | 2015.08.28 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 杨亮;何恭育 |
| 分类号 | B65G13/00(2006.01)I;B65G13/12(2006.01)I | 主分类号 | B65G13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种基板对位机构，其特征在于，包括数个支撑柱(1)、及位于所述数个支撑柱(1)两侧的数个对位柱(2)；所述支撑柱(1)包括本体(11)及设于所述本体(11)顶部的滚珠(12)；所述数个支撑柱(1)用于在对位过程中承载基板(3)，所述基板(3)的底面与所述滚珠(12)相接触，通过所述数个对位柱(2)分别从两侧对所述基板(3)进行夹持，从而实现对所述基板(3)的对位。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||