| 发明名称 | 一种脉宽展宽激光退火装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，包括：一光源发出的光束经过一脉宽调整单元调整该光束的时域分布及脉宽，该调整后的光束依次经过一准直扩束单元、匀光单元后进入一聚焦单元将该光束聚焦后入射一基底；该脉宽调整单元按照光束传播的方向依次包括一偏振分束器、一光线延迟单元和一偏振合束器。 | ||
| 申请公布号 | CN105206517A | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201410285144.6 | 申请日期 | 2014.06.24 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 徐建旭;兰艳平 |
| 分类号 | H01L21/268(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，包括：一光源发出的光束经过一脉宽调整单元调整所述光束的时域分布及脉宽，所述调整后的光束依次经过一准直扩束单元、匀光单元后进入一聚焦单元将所述光束聚焦后入射一基底；所述脉宽调整单元按照光束传播的方向依次包括一偏振分束器、一光线延迟单元和一偏振合束器。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||