| 发明名称 | 可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105209973A | 申请公布日期 | 2015.12.30 |
| 申请号 | CN201480026104.8 | 申请日期 | 2014.06.26 |
| 申请人 | AZ电子材料卢森堡有限公司 | 发明人 | M·D·拉赫曼;V·G·R·查达;姚晖蓉;C·安亚蒂格伍;D·麦克肯兹 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 汪宇伟 |
| 主权项 | 旋涂组合物，其包含至少一种金属氧化物二羧酸盐和有机溶剂，其中所述金属氧化物二羧酸盐可溶于所述溶剂或在所述溶剂中胶体稳定，并且其中所述金属氧化物二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供经固化的金属氧化物膜。 | ||
| 地址 | 卢森堡卢森堡 | ||