一种硅片清洗摇动装置

摘要

一种硅片清洗摇动装置，涉及硅片清洗过程中用到的辅助清洗装置，包括一个气缸、升降架和硅片承载架，升降架由水平设置的连接轴和竖直设置在连接轴两端的立杆组成，连接轴与气缸活塞杆的伸缩端连接，与两个立杆相对应的位置分别设有一个导向柱，立杆通过其侧部设置的滑块滑动设置在导向柱的导槽内，硅片承载架包括一个底板，底板上设有透水孔和用于固定硅片清洗篮的卡槽，底板的两侧各设有两个连接杆，同一侧的两个连接杆的顶端由一个耳板连接，两个耳板分别与升降架的两个立杆的顶端连接，以使硅片承载架在升降架带动下能够在硅片清洗机的清洗槽内上下运动。本实用新型能够使硅片在清洗过程中上下运动，提高了硅片的清洗效率和清洗能力。

主权项

一种硅片清洗摇动装置，其特征在于：包括一个气缸（3）、升降架和硅片承载架（7），升降架由水平设置的连接轴（4）和竖直设置在连接轴（4）两端的立杆（6）组成，连接轴（4）与气缸活塞杆的伸缩端连接，以使升降架在气缸（3）驱动下做往复升降运动，与两个立杆（6）相对应的位置分别设有一个导向柱（5），立杆（6）通过其侧部设置的滑块滑动设置在导向柱（5）的导槽内，硅片承载架（7）包括一个底板（71），底板（71）上设有多个凸起块（75），多个凸起块（75）与底板（71）之间形成用于放置硅片清洗篮（8）的卡槽，底板（71）上分布有多个透水孔（74），底板（71）的两侧各设有两个连接杆（72），同一侧的两个连接杆（72）的顶端由一个耳板（73）连接，两个耳板（73）分别与升降架的两个立杆（6）的顶端连接，以使硅片承载架（7）在升降架带动下能够在硅片清洗机的清洗槽内上下运动。