一种裂纹尖端应变场传感器

摘要

本实用新型公开了一种裂纹尖端应变场传感器，所述传感器包括多个应变传感单元，每个应变传感单元具有五层结构，包括柔性高分子衬底层、底电极层、电阻率各向异性应变传感薄膜层、顶电极层和表面保护层，所有的应变传感单元共用一层连续的电阻率各向异性传感薄膜。本实用新型摒弃了传统应变片的平面式电极布置结构，选用三维立体正交的顶底电极布置结构，实现了传感器单元的小型化、高灵敏化。利用半导体薄膜传感材料的电阻各向异性实现了传感单元对单一薄膜的共享，从而大大简化阵列器件结构设计及微加工工艺，提高阵列集成度。该器件结构提高了传感器的空间分辨率、应变灵敏度并实现场应变测量以适应裂纹尖端非均匀应变场测量的目的。

主权项

一种裂纹尖端应变场传感器，其特征在于：所述传感器包括多个应变传感单元，每个应变传感单元具有五层结构，包括柔性高分子衬底层、底电极层、电阻率各向异性应变传感薄膜层、顶电极层和表面保护层，所有的应变传感单元共用一层连续的电阻率各向异性传感薄膜。