一种激光光斑宽度测量装置

摘要

本实用新型涉及一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：至少包括一个被测量的激光器，激光器通过光学单元将激光器的输出光分成两束，光学单元分出的第一束平行光束照射在功率探测器；光学单元分出的第二束平行光束照射在标尺光栅和指示光栅构成的莫尔条纹产生器输入面上，莫尔条纹产生器输出端有光电检测单元，指示光栅固定在机械扫描器上；在机械扫描器上安装有刀口；所述的光学单元包括半透半反镜，一个全反镜和扩束镜。该装置操作简便、实用性强，能够对激光光斑进行快速、自动、高精度测量，并具有测量范围宽的优点，解决了极细激光光斑宽度的自动测量问题。

主权项

一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：至少包括一个被测量的激光器（1），激光器（1）通过光学单元（2）将激光器（1）的输出光分成两束，光学单元（2）分出的第一束平行光束照射在功率探测器（4‑1）；光学单元（2）分出的第二束平行光束照射在标尺光栅（3‑6）和指示光栅（3‑7）构成的莫尔条纹产生器输入面上，莫尔条纹产生器输出端有光电检测单元（4），指示光栅（3‑7）固定在机械扫描器上；在机械扫描器（3）上安装有刀口（3‑5）；所述的光学单元（2）包括半透半反镜（2‑1），一个全反镜（2‑2）和扩束镜（2‑3）；激光器（1）通过半透半反镜（2‑1）形成反射光输出和透射光输出，反射光输出和透射光输出互成夹角，反射光输出再次通过全反镜（2‑2）进行全反射后，使透射光输出形成第一束平行光束，使反射光形成第二束平行光束；第二束平行光束经扩束镜（2‑3）后照射在莫尔条纹产生器输入面；第一束平行光束照射在功率探测器（4‑1）窗口上。