| 摘要 |
<p>본 발명은 보호 물질 필름으로 광학소자를 코팅하기에 앞서서, MF로 표현된 금속 플루오라이드 단결정으로부터 제조된 광학 소자의 표면을 세정하는 방법(여기서 M은 칼슘, 바륨, 마그네슘, 또는 스트론튬, 또는 이들의 혼합물임); 및 상기 방법을 사용하여 제조된 DUV 광학소자에 관한 것이다. 상기 방법은 적어도 다음의 단계를 갖는다: (a)미립자, 연마 슬러리 잔여물, 광학소자의 손상된 상부층을 제거하도록, 적어도 하나의 선택된 액체에 상기 광학 소자를 침지하고 메가소닉 주파수의 초음파처리를 이용하는 단계, (b) UV/오전 세정을 이용하여 상기 광학 소자의 표면으로부터 탄화수소를 제거하는 기상 세정 공정에서의 세정하는 단계; 및 (c) 진공 환경에서, 아르곤 및 산소 또는 제논 및 산소, 또는 플루오린을 함유하는 저-에너지 플라즈마에, 기상 공정에서 얻어진 상기 광학 소자의 표면을노출시키는 단계.</p> |
| 申请人 |
코닝 인코포레이티드 |
发明人 |
칸제미, 마이클, 제이.;펭, 쟝웨이;헤이덴, 신디, 제이.;샤비아, 로버트;슈레이베르, 호스트;왕, 줴 |
