发明名称 SAFETY COVER OF LOAD LOCK MODULE CHAMBER WITH SEPSRATED LEXAN
摘要 <p>본 발명은 제1 단턱부를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 상기 제1 단턱부에, 제2 단턱부를 구비한 렉산(Lexan)이 복수의 결합볼트에 의해 나사결합되어, 상기 렉산이 상기 복수의 결합볼트를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동될 수 있는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버에 관한 것으로, 제1 단턱부(110)를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)와; 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에 대응되는 제2 단턱부(210)를 구비한 렉산(Lexan, 200); 및 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 상기 제1 단턱부(110)에, 상기 제2 단턱부(210)를 구비한 상기 렉산(200)을 나사결합시키기 위한 복수의 결합볼트(270);를 구비하여, 상기 렉산(200)이 상기 복수의 결합볼트(270)를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동되는 것을 특징으로 한다.</p>
申请公布号 KR101580645(B1) 申请公布日期 2015.12.28
申请号 KR20140136144 申请日期 2014.10.08
申请人 조규원 发明人 조규원
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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