| 摘要 |
1. Предварительно прижатая ячейка (10) емкостного преобразователя, получаемого путем микрообработки, содержащая:- подложку (12), содержащую первый электрод (16),- мембрану (14), содержащую второй электрод (18),- внешнюю область (22), в которой мембрана (14) закреплена на подложке (12),- внутреннюю область (20), расположенную внутри внешней области (22) или окруженную ею,причем мембрана (14) прижата к подложке (12) в первой прижатой области (24) кольцевой формы, расположенной во внутренней области (20); и причем ячейка имеет первую область (26) преобразования, находящуюся внутри первой прижатой области (24) кольцевой формы или окруженную ею, и вторую область (27) преобразования, находящуюся снаружи первой прижатой области (24) кольцевой формы или окружающую ее.2. Ячейка по п. 1, в которой второй электрод (18) расположен в любой из первой области (26) преобразования и второй области преобразования.3. Ячейка по п. 1, дополнительно включающая в себя вторую прижатую область (28), расположенную во внутренней области (20), и четвертый электрод (21), расположенный во второй прижатой области (28).4. Ячейка по п. 2 или 3, в которой второй электрод (18) расположен, по меньшей мере, в непосредственной близости от первой прижатой области (24) кольцевой формы.5. Ячейка по п. 1, в которой второй электрод (18) и/или первый электрод (16) имеют кольцевую форму.6. Ячейка по п. 1, в которой первая прижатая область (24) кольцевой формы сосредоточена вокруг центра (С) ячейки (10) или мембраны (14).7. Ячейка по п. 1, в которой мембрана (14) дополнительно прижата к подложке (12) во второй прижатой области (28), расположенной во внутренней области (20).8. Ячейка по п. 7, в которой вторая прижатая область (28) расположена в це� |
