| 摘要 |
脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができるダイシングブレードを提供する。ワークを切断加工するダイシングブレード２６であって、前記ダイシングブレード２６は、ダイヤモンド砥粒８２を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体８０によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体８０は前記ダイヤモンド砥粒８２の含有量が８０vol％以上である。前記ダイシングブレード２６の外周部には、前記ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられていることが好ましい。 |
