| 摘要 |
ガスを流す設備の設置や、装置の操作モードの追加、変更等の負担を発生させることなく、容易に実施可能な排気ポンプの堆積物検知装置を提供する。回転体を回転駆動するモータのモータ 電流値を検出する手段５２と、検出したモータ電流値のうち設定値以上のモータ電流値のみを記憶する電流値記憶部１０３と、記憶されたモータ電流値の単位時間当たりの平均値を計算する平均値計算部１０４と、計算された平均値を記憶する平均値記憶部１０５と、記録された平均値を時系列に並べて、該平均値について一次近似線を求める近似線算出部１０６と、一次近似線を用いて算出された予測モータ電流値と排気ポンプの使用開始時の初期モータ電流値との差分値を求める差分値算出部１０８とを有し、予め設定された閾値を前記差分値が超える時点を、排気ポンプのメンテナンス時期と判定するように構成した。 |
