Beschichtetes Kunststoff-Substrat, organo-elektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Kunststoff-Substrats

摘要

Die Erfindung betrifft ein mit einer Permeationsbarriereschicht beschichtetes Kunststoff-Substrat 2, ein organo-elektrisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mit einer Permeationsbarriereschicht beschichteten Kunststoff-Substrats 2. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Permeationsbarriereschicht auf einem Kunststoff-Substrat anzugeben, welche sehr gute Barriereeigenschaften und eine hohe Transparenz miteinander vereint. Dazu enthält die Permeationsbarriereschicht die Elemente Silizium und/oder Aluminium sowie Sauerstoff und Stickstoff, wobei das Schichtkonzentrationsverhältnis der Menge des Stickstoffs in der Schicht zu der Menge des Sauerstoffs in der Schicht mindestens 1:4 in einer Schicht ohne Aluminium, mindestens 1:4 in einer Schicht mit Silizium und Aluminium und mindestens 2:3 in einer Schicht ohne Silizium ist.