Mikromechanisches Sensorbauteil für einen Drehratensensor

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensorbauteil für einen Drehratensensor mit einer ersten, zweiten, dritten und vierten seismischen Masse (12a bis 12d), welche um einen Zwischenraum der an einer Halterung (10) verstellbar angeordnet sind, dass die erste seismische Masse (12a) und die zweite seismische Masse (12b) zumindest entlang einer ersten Schwingachse (14) und die dritte seismische Masse (12c) und die vierte seismische Masse (12d) zumindest entlang einer zweiten Schwingachse (16) verstellbar sind, wobei eine erste Wippenstruktur (26a) über ein erstes Wippen-Koppelelement (28a) mit der ersten seismischen Masse (12a) und über ein zweites Wippen-Koppelelement (28b) mit der zweiten seismischen Masse (12b) verbunden ist und benachbart zu einer Außenseite (30a) der dritten seismischen Masse (12c) so an der Halterung (10) angeordnet ist, dass die erste Wippenstruktur (26a) in Bezug zu der Halterung (10) in eine erste Wippbewegung um eine vorgegebene erste Drehachse (32a) versetzbar ist.