| 摘要 |
例えば瞳輝度分布のほぼ全体に亘る離散的な微小変調により、瞳輝度分布を確実に且つ迅速に改善する。第１工程乃至第４工程からなる評価方法を用いて、照明瞳に形成された瞳輝度分布により得られる指標値を求める第５工程と、前の工程で求めた離散化データにおいて指標値の単位変化量を単位瞳領域毎に求める第６工程と、単位変化量を用いる改善手法により、指標値が目標指標値に近づくように変調された離散化データを求める第７工程と、第１工程乃至第４工程からなる評価方法を用いて、第７工程で求めた変調された離散化データに対応して得られる指標値を求める第８工程とを含み、変調された離散化データに対応して得られる指標値の誤差が許容範囲に収まるまで第６工程乃至第８工程を繰り返すことにより、照明瞳に形成すべき瞳輝度分布を改善する。 |
