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发明名称 静電容量型物理量センサとその製造方法
摘要
申请公布号 JP5837846(B2) 申请公布日期 2015.12.24
申请号 JP20120042605 申请日期 2012.02.29
申请人 アルプス電気株式会社 发明人 牛膓 英紀;菊入 勝也;矢澤 久幸;大川 尚信
分类号 G01L9/00;G01P15/125;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
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