| 摘要 |
에칭 레지스트 또는 도금 레지스트 등의 레지스트 재료로서 우수한 해상도 및 밀착성을 갖는 감광성 수지 조성물의 제공. 본 발명에 관련된 감광성 수지 조성물은 (A) 바인더 폴리머 : 20 ∼ 90 중량％, (B) 광 중합성 화합물 : 5 ∼ 75 중량％, 및 (C) 광 중합 개시제 : 0.01 ∼ 30 중량％ 를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 상기 (A) 바인더 폴리머는 카르복실산 또는 카르복실산 무수물인 제 1 단량체와 중합성 불포화기를 1 개 갖고, 또한 비산성인 제 2 단량체를 공중합시킴으로써 얻어진 중량 평균 분자량 5,000 ∼ 100,000 의 공중합체이고, 상기 (B) 광 중합성 화합물은 부가 중합성 모노머이고, 또한 상기 감광성 수지 조성물에 노광을 실시하고, 이어서 현상을 실시한 후에 얻어진 감광성 수지층의 수접촉각이 60°초과, 또한 영 모듈러스가 1.5 ㎬ 이상 4 ㎬ 미만인 것을 특징으로 한다. |
