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<p>본 발명은 고주파 플라즈마를 생성시키는 장치에 관한 것으로서, 그 장치는 전력 모듈의 출력 인터페이스부에 연결된 플라즈마-생성 공진기(30)의 출력부에서 스파크(40)를 생성시키기에 적합한 설정점 주파수(Fc)의 여기 신호(U)를 출력 인터페이스부에 인가하는 공급 모듈(20), 및 고주파 플라즈마를 생성하기 위한 명령 시에 설정점 주파수를 전력 모듈로 공급하는 제어 모듈(10)을 포함하고, 상기 장치는, 제어 모듈이, 설정점 주파수(Fc)를 스파크의 형성 후에 그 장치의 공진 상태에 적합화시킬 수 있는, 최적 여기 주파수를 결정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
