| 摘要 |
本発明は、サンプル（４）と相互作用するための先端（２１）を有するプローブ（２）と、サンプル（４）又はプローブ（２）を保持するためのナノスキャナー（１）を含む走査型プローブ顕微鏡の制御方法に関し、当該方法は、先端がサンプルに向かって移動する方向に沿った第１の方向（Ｒ）に沿ったピエゾ素子の伸長を監視する工程と、ナノスキャナー（１）が閾値より上又は下の伸長を示した場合い、付加アクチュエーター（３）によって第１の方向（Ｒ）に沿ってプローブ（２）の高さを調節する工程を含む。本発明は更に、走査型プローブ顕微鏡を制御するための装置（１００）に関する。【選択図】 図１ |
