表面コーティング

摘要

構成部品を腐食から保護するとともに、該構成部品上の1つ又は複数の電気接点に電気伝導性を与える方法であって、該構成部品をチャンバーに入れる工程と、下記の前駆体モノマー：アクリレート、メタクリレート、又はオルガノシランのいずれか1つ又は複数により形成されるポリマーコーティングのプラズマ堆積により、該構成部品をコーティングする工程とを含む、方法。【選択図】図１