发明名称 レーザシステム及び極端紫外光生成システム
摘要 レーザシステムが、クロック生成器と、光共振器を含むモードロックレーザ装置と、光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、クロック生成器によって出力されるクロック信号と検出器によって出力される検出信号とに基づいて、調整装置を制御可能に構成され、クロック生成器によって出力されるクロック信号と外部装置から入力されるタイミング信号とに基づいて、スイッチング装置を制御可能に構成された制御部と、を備えてもよい。
申请公布号 JPWO2013161760(A1) 申请公布日期 2015.12.24
申请号 JP20140512556 申请日期 2013.04.22
申请人 ギガフォトン株式会社 发明人 柳田 達哉;若林 理
分类号 H01S3/098;H01L21/027;H01S3/00;H01S3/139 主分类号 H01S3/098
代理机构 代理人
主权项
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