| 摘要 |
<p>検査中に検体に供給される照明光のビーム強度分布を再成形するための方法およびシステムが提示される。走査表面検査システムは、照明源によって発生される光ビームのビーム強度分布を平らにするビーム成形素子を含む。再成形された照明光は、照明スポット上でウエハ表面に指向される。平らになったビーム強度分布とともに、入射ビーム力は、任意の特定の位置でウエハの損傷閾値を超えるビーム強度を有することなく増加し得る。加えて、照明スポットは、検査トラックに平行な方向に可変的なビーム幅を有するようにビーム成形素子によって成形される。可変的なビーム幅を有する検査領域内の欠陥の位置は、検出器の出力分析に基づいて予想される。</p> |
