| 摘要 |
<p>引離し時の静電気力を効果的に発生させることができ、簡単な構成で高い引離し力を得ることができる。シリコン基板２に対し固定的に設けられた固定駆動電極２１と、固定駆動電極２１に下面で対面し、固定駆動電極２１との間の静電気力により、固定駆動電極２１に近接する可動駆動電極２２と、可動駆動電極２２の上面に対面し、可動駆動電極２２との間の静電気力により、可動駆動電極２２を固定駆動電極２１から引き離す引離し電極２４と、を備え、引離し電極２４は、可動駆動電極２２を部分的に固定し、可動駆動電極２２および引離し電極２４は、相互の固定部分を中心に拡開するように、可動駆動電極２２および引離し電極２４が変形して、可動駆動電極２２の固定駆動電極２１に対する離接可動を受容する。</p> |
