| 摘要 |
Ein Gaslaseroszillator hat eine Abgabebefehlseinheit zum Abgeben eines Leistungsabgabebefehls; eine Stromversorgungseinheit zum Anlegen einer Entladungsröhrenspannung entsprechend dem Leistungsabgabebefehl an eine Entladungsröhre zur Einleitung einer Entladung; eine Spannungsdetektoreinheit zum Detektieren der Entladungsröhrenspannung; eine Entladungsbeginnbestimmungseinheit zum Bestimmen, ob die Entladung gestartet ist oder nicht auf Basis eines durch die Spannungsdetektoreinheit detektierten Wertes wenn der Leistungsabgabefehl graduell erhöht wird; und eine Abdichtungsbestimmungseinheit zum Bestimmen, dass die Abdichtung des Gasbehälters verschlechtert ist wenn eine Entladungsstartzeit vom Anlegen der Entladungsröhrenspannung bis zur Bestimmung durch die Entladungsbeginnbestimmungseinheit, dass die Entladung gestartet ist einen vorgegebenen ersten Schwellenwert überschreitet. |
