一种压力传感元件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种压力传感元件，包括并列设置于基底上的第一电容和第二电容；第一电容包括位于上方的第一压力敏感膜以及位于下方的第一固定极板，第一固定极板开设有第一通孔；第二电容包括位于下方的第二压力敏感膜以及位于上方的第二固定极板，第二固定极板开设有第二通孔；基底设有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽通过第一通孔与第一电容间隙连通并形成第一密封腔，第二压力敏感膜密封第二凹槽形成第二密封腔；第一电容和第二电容共同构成差分电容。本发明的压力传感元件基于差分电容进行检测，对外界共模干扰信号不敏感，可以实现高精度和高稳定性地输出。本发明同时还提供了一种制造压力传感元件的方法。

主权项

一种压力传感元件，其特征在于，包括：并列设置于基底上的第一电容(C1)和第二电容(C2)；所述第一电容(C1)包括位于上方的第一压力敏感膜(101)以及位于下方的与第一压力敏感膜(101)相对的第一固定极板(102)、所述第一压力敏感膜(101)和所述第一固定极板(102)之间具有第一电容间隙(320)，所述第一固定极板(102)开设有第一通孔(314)；所述第二电容(C2)包括位于下方的第二压力敏感膜(202)以及位于上方的与第二压力敏感膜(202)相对的第二固定极板(201)，所述第二压力敏感膜(202)和所述第二固定极板(201)之间具有第二电容间隙(321)，所述第二固定极板(201)开设有第二通孔(324)；所述基底在所述第一电容(C1)的下方设有第一凹槽(103)，所述第一凹槽(103)通过第一通孔(314)与第一电容间隙(320)连通并形成第一密封腔；所述基底在所述第二电容(C2)的下方设有第二凹槽(203)，所述第二压力敏感膜(202)密封所述第二凹槽(203)形成第二密封腔；所述第一电容(C1)和第二电容(C2)共同构成差分电容。