一种多晶铸锭用坩埚的表面处理方法

摘要

本发明公开了一种多晶铸锭用坩埚的表面处理方法，在高温和高压条件下，坩埚内的大部分杂质挥发出来，并与活性气体反应生成化合物，生成的化合物在低温条件下与活性气体固化分离，减小了坩埚内的杂质对晶体硅的污染，有效解决了多晶硅电池的EL黑边问题；分离后的惰性气体与未反应的活性气体再次充入炉体内进行循环利用，降低生产成本。

主权项

一种多晶铸锭用坩埚的表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1).将已经成型的多晶铸锭用石英坩埚放置在密闭炉体内，将炉体升温，并做抽真空处理；(2).在步骤(1)中的炉体内的压强达到某一阈值时，采用惰性气体置换炉体内的空气；(3).当步骤(2)中的炉体内的温度达到某一阈值时，对炉体内充入活性气体；(4).在高温高压条件下，炉体内的活性气体和坩埚内的杂质发生气‑固反应，生成的化合物挥发出来；(5).在炉体内的活性气体和坩埚内的杂质充分反应一定时间后，将炉体内的气体抽到炉体外，步骤(4)中生成的化合物在低温条件下变为固体分离出来，再把分离出来的惰性气体以及未反应的活性气体的混合气体充入炉体内循环利用；(6).取出对经过步骤(5)处理过后的石英坩埚，再采用酸溶液进行清理，烘干和包装。