DIRECT SELF ASSEMBLY IN TARGET DESIGN AND PRODUCTION

摘要

타겟 설계 방법 및 타겟이 제공되며, 여기에서 타겟 요소와 상기 타겟 요소의 배경 사이의 구별의 적어도 일부가 그들 타겟 요소와 상기 타겟 요소의 배경 중 어느 하나를 세그먼팅함으로써 수행된다. 직접 자기 조립(DSA) 프로세스가 미세 세그먼트화를 생성하기 위해 사용되며, 중합체 라인 및 그 가이딩 라인의 다양한 특성이 타겟 요소와 상기 타겟 요소의 배경을 구별하기 위해 사용된다. 타겟 설계 및 설계 원리는 DSA 프로세스뿐만 아니라 생성 부정확도에도 불구하고 높은 계측학 측정 정확도를 산출하기 위해 DSA 프로세스의 최적화와 관련하여 개시된다. 더욱이, 설계 및 방법은 DSA 생성 중합체 표면의 정돈 영역을 타겟 요소로서 및 생성 프로세스용 하드 마스크로서 사용하기 위해 및 향상시키기 위해 제공된다. 타겟 및 방법은 타겟 요소 또는 DSA 피쳐를 구별하기 위해 편광된 광을 사용하여 계측학 측정을 인에이블시키도록 구성될 수 있다.