一种多晶硅铸锭装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭装置，包括炉体、坩埚、磁控装置、真空装置和加热装置；所述炉体内设有保温层，所述保温层内设置所述加热装置；所述坩埚、所述磁控装置均设置于炉体内；所述磁控装置设于所述坩埚下部，并与所述坩埚通过导磁管路连接。所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。本实用新型中磁控装置具有定向凝固的作用，在对多晶硅定向凝固过程中，能够使得杂质分布具有方向性，减少尾部废料的切除率，并且该装置的设置提高了多晶硅的纯度，从而获得5N的高纯硅，符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。另外，本实用新型的多晶硅铸锭装置减少了原料的浪费。

主权项

一种多晶硅铸锭装置，其特征在于：包括炉体、坩埚、磁控装置、真空装置和加热装置；所述炉体内设有保温层，所述保温层内设置所述加热装置；所述坩埚、所述磁控装置均设置于炉体内；所述磁控装置设于所述坩埚下部，并与所述坩埚通过导磁管路连接；所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。