| 发明名称 | 制造复合补偿游丝的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种制造复合补偿游丝(31)的方法，所述复合补偿游丝包括由第一材料构成的第一厚度E<sub>1</sub>和由至少一种第二材料构成的至少一个第二厚度E<sub>2</sub>。 | ||
| 申请公布号 | CN105182721A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201510294325.X | 申请日期 | 2015.06.02 |
| 申请人 | 斯沃奇集团研究和开发有限公司 | 发明人 | T·黑塞勒 |
| 分类号 | G04B17/06(2006.01)I | 主分类号 | G04B17/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 吴鹏;马江立 |
| 主权项 | 一种制造复合补偿游丝(31,41)的方法，包括如下步骤：a)取用由第一材料制成的第一晶片(1)；b)取用由至少一种第二材料制成的至少一个第二晶片(3,3')，所述第二材料的杨氏模量随温度的变化(TEC)与所述第一材料的杨氏模量随温度的变化(TEC)异号；c)将所述第一晶片(1)接合至所述至少一个第二晶片(3,3')以形成衬底(2,2')；d)穿过所述衬底(2,2')刻蚀图案(4)以形成复合补偿游丝(31,41)，所述复合补偿游丝包括由所述第一材料构成的第一厚度(E<sub>1</sub>)和由所述至少一种第二材料构成的至少一个第二厚度(E<sub>2</sub>，E'<sub>2</sub>)；e)从所述衬底(2,2')释放所述复合补偿游丝(31,41)。 | ||
| 地址 | 瑞士马林 | ||