一种滚动式顶针组件及基板顶撑装置

摘要

本发明公开了一种滚动式顶针组件，包括承载件和球形的接触件，所述承载件的顶面开设有承载槽，所述接触件可滚动地设于所述承载槽内且顶面凸出于所述承载槽。本发明还公开了一种基板顶撑装置。通过将顶针组件设置成可分离地设置的承载件和接触件，接触件可在承载件内滚动，基板放置在该顶针组件上后，当基板相对于顶针组件水平滑动时，接触件可在承载件内滚动，从而减小了顶针组件与基板之间的摩擦力，可以有效避免基板表面被划伤，提高基板表面的平整度；同时，承载件还可连接抽气管，当基板运输完毕后，可通过该抽气管吸住接触件，接触件即被锁定而无法继续滚动，基板即不再水平运动，操作性好。

主权项

一种滚动式顶针组件，其特征在于，包括承载件(10)和接触件(20)，所述承载件(10)的顶面开设有承载槽(100)，所述接触件(20)可滚动地设于所述承载槽(100)内且顶面凸出于所述承载槽(100)。