一种晶圆减薄临时粘结剂及其制备方法

摘要

本发明涉及一种晶圆减薄临时粘结剂及其制备方法，以原料总重量的百分含量计，由以下各原料组成：溶剂40～70份、环烯烃共聚物20～50份、增粘树脂5～20份、抗氧剂0.01～0.5份、流平剂0.01～0.5份、偶联剂0.01～2份。本发明制备的晶圆减薄临时粘结剂，具有优异的流变性能、较好的粘接强度，耐溶剂和耐热性好，吸水率低，可以加热解键合，适用于晶圆减薄工艺过程的临时粘接。

主权项

一种晶圆减薄临时粘结剂，其特征在于，以原料总重量的百分含量计，由以下各原料组成：溶剂40～70份、环烯烃共聚物20～50份、增粘树脂5～20份、抗氧剂0.01～0.5份、流平剂0.01～0.5份、偶联剂0.01～2份；所述溶剂为柠檬烯、十二烯、月桂烯、十六烯、四聚丙烯、十氢萘、溶剂油中的一种；所述环烯烃共聚物为双环庚烯‑乙烯共聚物。