一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法及系统

摘要

本发明公开了一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法及系统，采用酸浓缩技术和尾气回收再利用技术，有效解决废液中的金属铜并使蚀刻液再生循环回用，无废液增量产生，实现零排放，该装置系统包括蚀刻液处理系统、再生液循环系统、配液系统和氯回收系统，蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线（1）、母液储存罐（2）、电解槽和溶解吸收系统（6），电解槽包括阴极槽（3）和阳极槽（5），再生液循环系统包括再生液储罐（10）和再生液处理系统（11），该方法包括电解、氯气处理和再生液处理等步骤。本发明的有益效果是：该系统用于处理酸性蚀刻废液，能提取金属铜，并具有可离线生产、节约成本、节约资源、能够防止环境污染等优点。

主权项

一种零排放酸性蚀刻废液循环再生方法，其特征在于：将蚀刻废液中的金属铜在电解槽内电解回收并产生尾气，电解之后的蚀刻废液作为再生液循环利用，采用酸浓缩技术将再生液分离成高酸度的溶液和低酸度的溶液，高酸度的溶液直接回到蚀刻线上循环再用，低酸度的溶液配制成氧化剂后回到蚀刻线上添加，尾气经过处理后再制成含氯的有价产品，整个循环过程中无废液增量产生，实现真正的零排放。