主权项 |
一种激光烧蚀过程中等离子体吸收率的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、选取靶材并平整光洁所述靶材的表面,使所述靶材表面的表面粗糙度Ra为0.05‑0.1μm;S2、采用脉冲激光在所述靶材表面烧蚀加工一系列微凹腔,在加工过程中,激光能量密度F规则增大或减小;S3、用三维形貌分析仪测量所述S2中烧蚀获得的所述微凹腔直径D和深度h;S4、在横坐标为激光能量密度F和纵坐标为凹腔直径D的二维坐标系中,绘制所述能量密度F及对应的所述微凹腔直径D各数据点,并通过对数关系拟合函数曲线;所述函数曲线与所述横坐标的交点即为所述脉冲激光烧蚀所述靶材所对应的烧蚀阈值F<sub>th</sub>;同时计算所述靶材表层材料在所述脉冲激光烧蚀过程中的有效系数α;S5、通过所述微凹腔深度h、所述烧蚀阈值F<sub>th</sub>和所述有效系数α,以及激光能量密度,推导出激光烧蚀过程中等离子体吸收率b。 |