光照射装置以及绘图装置

摘要

提供光照射装置(31)，将来自光源部(4)的激光沿着照射光学系统(5)的光轴(J1)引导至照射面(320)。照射光学系统(5)的分光透镜部(62)具有将入射的光分光的多个要素透镜，光程差生成部(61)具有具备互不相同光程的多个透光部。通过多个要素透镜的多条光束分别入射至多个透光部。聚光部(63)将多条光束的照射区域(50)重叠于照射面上。在沿着要素透镜的排列方向观察时，多条光束作为平行光入射至聚光部。聚光部具有：使平行光在与该排列方向垂直的Y方向上发散的发散透镜(631)，使来自发散透镜的光会聚于照射面上的会聚透镜(633)。这样，容易实现缩短聚光部在Y方向上的焦距的设计，并抑制在照射面上的多条光束的聚光位置的偏离。

主权项

一种光照射装置，其特征在于，具有：光源部，向规定位置出射激光，照射光学系统，配置于所述规定位置，将来自所述光源部的激光沿着光轴引导至照射面；所述照射光学系统具有：分光透镜部，具有沿着与所述光轴垂直的第一方向排列的多个要素透镜，并利用所述多个要素透镜将入射的光分成多条光束，聚光部，配置于所述分光透镜部的所述照射面一侧，将所述多条光束的照射区域重叠于所述照射面上；所述多个要素透镜是在所述光轴以及与所述第一方向垂直的第二方向上没有光焦度的多个柱面透镜，或者，在所述照射光学系统中，设有沿着所述第一方向排列并且具有互不相同的光程的多个透光部，通过所述多个要素透镜的光或者射向所述多个要素透镜的光分别入射至所述多个透光部；在沿着所述第一方向观察的情况下，所述多条光束作为平行光入射至所述聚光部，所述聚光部使所述多条光束会聚于所述照射面上；所述聚光部具有：发散部，使所述平行光在所述第二方向上发散，会聚透镜，接受来自所述发散部的光的入射，并且在沿着所述第一方向观察的情况下，使所述光会聚于所述照射面上。