| 发明名称 | 可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置。其特征在于，其包括高压电极、地电极、温度传感器、电加热片、反馈式精密温控仪、千分测厚仪、杠杆开关，所述高压电极内置温度传感器，所述电加热片封于地电极中，所述杠杆开关与高压电极相连，用于控制高压电极的高度。该装置在测试薄膜电击穿性能的同时，还可以获得薄膜的厚度信息，并且温度控制更加精确，因此本装置具有操作简单，实验精确度高、效率高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN105182198A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201510581410.4 | 申请日期 | 2015.09.14 |
| 申请人 | 哈尔滨理工大学 | 发明人 | 刘奇;王暄;李东平 |
| 分类号 | G01R31/12(2006.01)I;G01R31/16(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 本发明涉及一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置，其特征在于，其包括高压电极（1）、地电极（2）、温度传感器（3）、电加热片（4）、反馈式精密温控仪（5）、千分测厚仪（6）、杠杆开关（7），所述高压电极（1）内置温度传感器（3），所述电加热片（4）封于地电极（2）中，所述杠杆开关（7）与高压电极（2）相连，用于控制高压电极（2）的高度。 | ||
| 地址 | 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号 | ||