| 发明名称 | 静电容量式传感器、声音传感器以及麦克风 | ||
| 摘要 | 在硅基板(22)的上表面，以覆盖硅基板(22)的腔的方式配置有隔膜(24)。在硅基板(22)的上表面设有多个固定构件(27)，隔膜(24)的角部下表面由固定构件(27)支撑。另外，在隔膜(24)的上方，隔着空气间隙设有固定电极板。当从与硅基板(22)的上表面垂直的方向观察时，位于相邻的固定构件(27)之间的隔膜(24)的外缘的全长位于线段(G)的外侧，该线段(G)在远离隔膜(24)的中心侧与相邻的固定构件(27)的边缘外切。另外，在隔膜(24)的固定构件附近，分别开设有一个或者两个以上的通孔(25)。 | ||
| 申请公布号 | CN105191352A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
| 申请号 | CN201380074451.3 | 申请日期 | 2013.09.09 |
| 申请人 | 欧姆龙株式会社 | 发明人 | 井上匡志;笠井隆;内田雄喜 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 董雅会;向勇 |
| 主权项 | 一种静电容量式传感器，其特征在于，具有：基板，至少具有在上表面开设的空腔，振动电极板，以覆盖所述空腔的上表面的方式形成于所述基板的上方，多个固定构件，隔开间隔地配置在所述振动电极板的外周部，能够将所述振动电极板固定于静止构件，固定电极板，配置为与所述振动电极板相向；当从与所述基板的上表面垂直的方向观察时，位于相邻的固定构件之间的振动电极板的外缘在整个长度范围内位于切线的外侧，该切线为在远离所述振动电极板的中心的一侧与相邻的固定构件的边缘外切的切线，在所述振动电极板的靠近所述固定构件的区域设有一个或者两个以上的开口。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||