发明名称 气体封闭系统和利用辅助封闭装置的方法
摘要 本教导公开了一种气体封闭系统的各个实施例,所述气体封闭系统可具有气体封闭装置,所述气体封闭装置可包括打印系统封闭装置和辅助封闭装置。在本教导的气体封闭系统的各个实施例中,打印系统封闭装置可与辅助封闭装置隔离。本教导的各种系统和方法可通过利用可隔离封闭装置的各个实施例提供对打印系统的持续管理。例如,用于管理打印头组件的各个测量和维护过程步骤可在辅助封闭装置中执行,所述辅助封闭装置可与气体封闭系统的打印系统封闭装置隔离,从而防止或者最小化打印过程的中断。
申请公布号 CN105190860A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201480027671.5 申请日期 2014.03.11
申请人 科迪华公司 发明人 J.莫克;A.S-K.高;E.弗龙斯基;S.阿尔德森
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 李晨;董均华
主权项  一种气体封闭系统,其包括:气体封闭装置,其包括:限定出第一容积的打印系统封闭装置,限定出第二容积的辅助封闭装置,其中,所述气体封闭装置具有允许在所述打印系统封闭装置与所述辅助封闭装置之间进入的第一可密封开口、以及允许从所述气体封闭装置的外部进入所述辅助封闭装置的第二可密封开口;容置于所述打印系统封闭装置内的工业打印系统,其包括:包括至少一个打印头装置的打印头组件,用于支撑基底的基底支撑设备;以及运动系统,其用于将所述打印头组件相对于所述基底进行定位;以及位于所述气体封闭装置中的处理器,其中,所述处理器的位置接近所述第一开口,以便使所述处理器能够执行要求在所述打印系统封闭装置与所述辅助封闭装置之间的运动的操作。
地址 美国加利福尼亚州