发明名称 一种透明毛细管内表面面型测试系统及测试方法
摘要 本发明涉及一种透明毛细管内表面面型测试系统及测试方法,所述系统包括:一产生平行光的平行光产生子系统;一直线位移台;一盛放液体和完全浸入该液体中的两端密封的待测毛细管的液体池;一采集穿过所述液体池的光束以获得所述待测毛细管的内径边界的投影的放大图像的探测器子系统;以及一与所述直线位移台以及所述探测器子系统连接的控制及数据分析处理子系统。本发明解决了透明毛细管内表面面型难以非破坏性精密测试的难题,实现了纳米级分辨率的内径测量,从而为制造高精度的透明毛细管提供了精确的测量工具。
申请公布号 CN105180820A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201510542214.6 申请日期 2015.08.28
申请人 中国科学院上海应用物理研究所 发明人 佟亚军;王玉丹;任玉琦;邓彪;陈敏;肖体乔
分类号 G01B11/12(2006.01)I 主分类号 G01B11/12(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 邓琪;杨希
主权项 一种透明毛细管内表面面型测试系统,其特征在于,所述系统包括:一产生平行光的平行光产生子系统;一直线位移台;一盛放液体和完全浸入该液体中的两端密封的待测毛细管的液体池,其放置在所述直线位移台上,并位于所述平行光中,且该液体池的透光测试面与该平行光的光轴垂直,其中,所述液体的折射率与所述待测毛细管材料的折射率之差小于0.1%,且所述待测毛细管的中心轴与所述液体池的透光测试面平行;一采集穿过所述液体池的光束以获得所述待测毛细管的内径边界的投影的放大图像的探测器子系统,其包括探测器,且该探测器的探测面与所述光束的光轴相交,并且与该光束的光轴垂直;以及一与所述直线位移台以及所述探测器连接的控制及数据分析处理子系统,其包括依次连接的:控制模块;数据采集模块,其在所述控制模块的控制下采集所述待测毛细管的内径边界的投影的放大图像,以获得所述探测器采集到的光束的光强随所述探测器的每一列像素位置变化的位置光强曲线;折射率误差分析模块,其根据所述位置光强曲线的特征计算所述液体与所述待测毛细管材料之间的折射率比值以及该折射率比值对该位置光强曲线的校正参数;以及还与所述数据采集模块连接的内径计算模块,其根据所述位置光强曲线的特征并结合所述校正参数计算所述待测毛细管在当前轴向位置处的内径和内径中心位置;其中,所述控制模块还控制所述直线位移台沿所述待测毛细管的轴向运动,以获得所述待测毛细管在不同轴向位置处的所述内径和内径中心位置并据此测得所述待测毛细管的内表面面型。
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