等离子体压力显示膜片及其稳态标定系统和测量系统

摘要

本发明公开了一种等离子体压力显示膜片，以及其静态标定系统和利用其测量气体压力的系统。该等离子体压力显示膜片采用高频高压的交流电驱动，当布置在待测表面时，利用等离子体亮度与所处气压之间的一一对应关系，通过测量等离子体的亮度来获得气体压力。等离子体压力显示膜片结构简单、布置灵活，空间分辨率高，初步的研究表明也有较高的频响，适合高频的气动流场测量。

主权项

一种等离子体压力显示膜片，其特征在于，该等离子体压力显示膜片为层状结构，包括裸露金属薄膜(101)、绝缘膜片(102)、掩埋金属薄膜(103)和绝缘覆盖薄膜(104)共四层，其中，裸露金属薄膜(101)设置于绝缘膜片(102)的正面，掩埋金属薄膜(103)设置于绝缘膜片(102)的背面，绝缘覆盖薄膜(104)覆盖于绝缘膜片(102)背面的掩埋金属薄膜(103)之上。