用于制造钛掺杂合成石英玻璃的方法

摘要

用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO₂原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO₂原材料(105)，以产生气态SiO₂原料气(107)；(C)蒸发液态TiO₂原材料(205)，以产生气态TiO₂原料气(207)；(D)分别将SiO₂原料气(107)和TiO₂原料气转化为SiO₂颗粒和TiO₂颗粒；(E)将所述SiO₂颗粒和TiO₂颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO₂烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO₂烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO₂浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO₂原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO₂原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO₂原料气(107)。

主权项

用于制造钛掺杂合成石英玻璃的方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO₂原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO₂原材料(105)，以产生气态SiO₂原料气(107)；(C)蒸发液态TiO₂原材料(205)，以产生气态TiO₂原料气(207)；(D)分别将SiO₂原料气(107)和TiO₂原料气转化为SiO₂颗粒和TiO₂颗粒；(E)将所述SiO₂颗粒和TiO₂颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO₂烟灰体(200)；(F)将所述钛掺杂的SiO₂烟灰体玻璃化，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO₂浓度在5重量％至11重量％之间；其特征在于，所述液态SiO₂原材料(105)包括由重量分数为mD3的聚烷基硅氧烷D3构成的至少一种额外组分，以及由重量分数为mD5的聚烷基硅氧烷D5构成的一种额外组分，重量比mD3/mD5在0.01至1的范围，并且所提供的液态SiO₂原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发，以形成气态SiO₂原料气(107)。