发明名称 | 入口及具有所述入口的反应系统 | ||
摘要 | 披露一种入口和一种具有所述入口的反应系统。所述入口包括:本体,该本体内设有传输管道,该传输管道允许流体经过其中流动;至少一个第一喷嘴,该至少一个第一喷嘴连接到本体的侧表面的一个区域,并且适于将清洁溶液喷入传输管道;以及设置成在传输管道中以与传输管道的内壁间隔开的挡片,其中从第一喷嘴喷出的清洁溶液被阻挡而不被引入传输管道的位于挡片内部的一个区域。 | ||
申请公布号 | CN105190833A | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
申请号 | CN201380073084.5 | 申请日期 | 2013.09.17 |
申请人 | LG矽得荣株式会社 | 发明人 | 赵万起;孙琇彬;柳得天 |
分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 李丹丹 |
主权项 | 一种入口,所述入口包括:本体,所述本体内设有传输管道,所述传输管道允许流体通过其流动;至少一个第一喷嘴,所述至少一个第一喷嘴连接到所述本体的侧表面的一个区域,并适于将清洁溶液喷入所述传输管道;以及挡片,所述挡片设置在所述传输管道中,并与所述传输管道的内壁间隔开,其中,从所述第一喷嘴喷出的所述清洁溶液被阻挡而不被引入所述传输管道的位于所述挡片内部的一个区域。 | ||
地址 | 韩国庆尚北道 |