| 摘要 |
<p>본 발명은 로봇암을 이용하여 기판을 이송하는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 처리부와; 상기 처리부 내로 기판을 투입하거나 상기 처리부로부터 기판을 반출시키는 로봇암과; 상기 로봇암이 상기 처리부 내로 진입하는 높이를 측정하는 높이 측정 센서를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 의하면 로봇암을 통한 처리부 내의 기판 투입 및 처리부로부터 기판의 반출이 안정적으로 수행될 수 있다.</p> |
