应力、应变或温度异常区域监测传感元件及其制作方法

摘要

一种应力、应变或温度异常区域监测传感元件及其制作方法，属于传感元件及其制作方法。有基本复合层结构与附加复合层结构；基本复合层结构由第一层的薄板、第二层的敏感元件横向陈列、第三层的绝缘薄层、第四层的敏感元件纵向阵列、第五层的电极以及第六层的绝缘保护膜组成；附加复合层结构层由第一层的敏感元件阵列与电极以及第二层的绝缘保护膜组成，可以根据需要附加在基本复合层结构之上。传感元件可实现二维平面场中应力异常区或应变异常区或温度异常区的监测，具体取决于敏感元件的选择，针对应变异常区监测时就需选择应变敏感性能较好的敏感材料制作敏感元件阵列。该发明，结构简单有效；采用丝网印刷工艺，方法简单可靠，成本低。

主权项

一种应力、应变或温度异常区域监测传感元件及其制作方法，其特征是：该传感元件有基本复合层结构与附加复合层结构两大部分；其中基本复合层结构有第一层即底层的薄板、第二层的敏感元件横向陈列、第三层的绝缘薄层、第四层的敏感元件纵向阵列、第五层的电极以及第六层即最上层的绝缘保护膜，第一层、第二层、第三层、第四层、第五层和第六层顺序连接；附加复合层结构层有第一层即底层的敏感元件阵列与电极以及第二层即上层的绝缘保护膜；第一层和第二层顺序连接。