一种钼合金靶材的制作方法

摘要

本发明涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明提供了一种成本低廉，但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法，主要应用于平板显示器等领域。

主权项

一种钼合金靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：准备模具，将钼粉和铌粉装入模具并进行振动，按重量计Mo粉：Nb粉=9：1，Nb粉过300目筛，取筛下粉，将模具放入烧结炉内，开始升温；升温工艺：室温60分钟升至1000℃，保温120分钟，而后120分钟升至2250℃，保温180分钟，过程中通入氢气进行保护；加压工艺：升温即开始加压，2吨，温度到2200℃时，开始升压，20分升到5吨，在2250℃保压5吨，直到保温结束；保温结束，断电降温降压；温度至30℃以下时出炉脱模即得钼铌合金靶材，靶材相对密度达99.3%。