发明名称 |
一种光致电子发射源及其制造方法、电子发射装置 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种光致电子发射源及其制造方法、电子发射装置,所述制造方法包括:选取适合碳纳米管生长的导电基底;在所述导电基底上沉积催化剂层;在所述催化剂层上生长碳纳米管。本发明实施例通过在导电基底上沉积催化剂层、以及生长碳纳米管进行制备的光致电子发射源,发射电流密度大、光电发射效率高、真空度要求低、稳定性高、制备方法简单、成本低。 |
申请公布号 |
CN105185673A |
申请公布日期 |
2015.12.23 |
申请号 |
CN201510415969.X |
申请日期 |
2015.07.15 |
申请人 |
国家纳米科学中心 |
发明人 |
李振军;李驰;白冰;戴庆 |
分类号 |
H01J1/30(2006.01)I;H01J29/04(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;C01B31/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J1/30(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
巩克栋;侯桂丽 |
主权项 |
一种光致电子发射源的制造方法,其特征在于,包括:选取适合碳纳米管生长的导电基底;在所述导电基底上沉积催化剂层;在所述催化剂层上生长碳纳米管。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村北一条11号 |