发明名称 一种光致电子发射源及其制造方法、电子发射装置
摘要 本发明实施例公开了一种光致电子发射源及其制造方法、电子发射装置,所述制造方法包括:选取适合碳纳米管生长的导电基底;在所述导电基底上沉积催化剂层;在所述催化剂层上生长碳纳米管。本发明实施例通过在导电基底上沉积催化剂层、以及生长碳纳米管进行制备的光致电子发射源,发射电流密度大、光电发射效率高、真空度要求低、稳定性高、制备方法简单、成本低。
申请公布号 CN105185673A 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201510415969.X 申请日期 2015.07.15
申请人 国家纳米科学中心 发明人 李振军;李驰;白冰;戴庆
分类号 H01J1/30(2006.01)I;H01J29/04(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;C01B31/00(2006.01)I 主分类号 H01J1/30(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 巩克栋;侯桂丽
主权项 一种光致电子发射源的制造方法,其特征在于,包括:选取适合碳纳米管生长的导电基底;在所述导电基底上沉积催化剂层;在所述催化剂层上生长碳纳米管。
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