发明名称 | 一种掩膜盛放盒 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种掩膜盛放盒。它包括盒体,盒体的左右两端开口设置,在盒体内设有板体,在板体上设有一组第一网孔,在板体上设有存放盒,在存放盒底部设有一组第二网孔,板体的第一网孔与存放盒的第二网孔相对应设置,在板体下方的盒体内设有集灰盒,集灰盒的顶部开口设置,在盒体侧壁内设有第一进气通道,在盒体顶部设有与第一进气通道相连通的进气腔,在盒体内顶部设有一组与进气腔相连通的出气口,在盒体底部设有与第一进气通道相连通的第一进气口。本实用新型能够清理粘附于掩膜上的污染物,并且使污染物与掩膜分开,不会使污染物再次影响其它掩膜。 | ||
申请公布号 | CN204905230U | 申请公布日期 | 2015.12.23 |
申请号 | CN201520739973.7 | 申请日期 | 2015.09.23 |
申请人 | 山东百利通亚陶科技有限公司 | 发明人 | 徐彬;孙建平 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 闫晓燕 |
主权项 | 一种掩膜盛放盒,其特征在于:包括盒体,盒体的左右两端开口设置,在盒体内设有板体,在板体上设有一组第一网孔,在板体上设有存放盒,在存放盒底部设有一组第二网孔,板体的第一网孔与存放盒的第二网孔相对应设置,在板体下方的盒体内设有集灰盒,集灰盒的顶部开口设置,在盒体侧壁内设有第一进气通道,在盒体顶部设有与第一进气通道相连通的进气腔,在盒体内顶部设有一组与进气腔相连通的出气口,在盒体底部设有与第一进气通道相连通的第一进气口。 | ||
地址 | 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号 |