发明名称 一种掩膜盛放盒
摘要 本实用新型涉及一种掩膜盛放盒。它包括盒体,盒体的左右两端开口设置,在盒体内设有板体,在板体上设有一组第一网孔,在板体上设有存放盒,在存放盒底部设有一组第二网孔,板体的第一网孔与存放盒的第二网孔相对应设置,在板体下方的盒体内设有集灰盒,集灰盒的顶部开口设置,在盒体侧壁内设有第一进气通道,在盒体顶部设有与第一进气通道相连通的进气腔,在盒体内顶部设有一组与进气腔相连通的出气口,在盒体底部设有与第一进气通道相连通的第一进气口。本实用新型能够清理粘附于掩膜上的污染物,并且使污染物与掩膜分开,不会使污染物再次影响其它掩膜。
申请公布号 CN204905230U 申请公布日期 2015.12.23
申请号 CN201520739973.7 申请日期 2015.09.23
申请人 山东百利通亚陶科技有限公司 发明人 徐彬;孙建平
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 闫晓燕
主权项 一种掩膜盛放盒,其特征在于:包括盒体,盒体的左右两端开口设置,在盒体内设有板体,在板体上设有一组第一网孔,在板体上设有存放盒,在存放盒底部设有一组第二网孔,板体的第一网孔与存放盒的第二网孔相对应设置,在板体下方的盒体内设有集灰盒,集灰盒的顶部开口设置,在盒体侧壁内设有第一进气通道,在盒体顶部设有与第一进气通道相连通的进气腔,在盒体内顶部设有一组与进气腔相连通的出气口,在盒体底部设有与第一进气通道相连通的第一进气口。
地址 250103 山东省济南市高新区开拓路2333号
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