改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备

摘要

本发明一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋洗所产生的废渣形态，利用专门的处理装置，设计出了处理能力大、残渣分离能力强和采用机械捞渣的废气处理装置。工艺采用10-15%NaOH碱液淋洗处理，通过碱液对废弃物进行淋洗，除去废弃物中的有害成分氯硅烷/氯化氢；产生的废渣通过全自动上下一体行车式往返刮板机刮入搅拌池，随后送入新型箱式压滤机进行固液分离，分离得到的干渣送渣场堆存，滤液回到淋洗塔循环池重复利用，净化后的尾气达到国家排放标准后排放。

主权项

一种改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺，其特征在于采用NaOH碱液为淋洗液对废气在淋洗塔塔体（18）内进行淋洗处理，去除从采用改良西门子法生产多晶硅工艺中排出废气中的氯硅烷或氯化氢有害成分，净化处理后的废气经过安全液封罐（22），废气达到国家排放标准后排放；净化处理后的废水落入每个淋洗塔（1）的淋洗液收集沟（2）中，淋洗液收集沟（2）收集的废水再集积到分流沟（15）中最后以自流方式流入渣水收集池（14），每个渣水收集池（14）上装有一台全自动上下一体行车式往返刮板机（4），渣水收集池（14）内通过全自动上下一体行车式往返刮板机（4）将废渣刮入或收集到搅拌池（8），随后搅拌池（8）内的废渣再输送到箱式压滤机进行固液分离，分离得到的固体干渣送渣场堆存，滤液回流到循环水池（11），供淋洗塔（1）再次使用；所述的淋洗处理是废气从淋洗塔塔体（18）底部的废气管进口（17）进入淋洗塔（1），经过碱液喷淋管道（19），螺旋喷头（20），捕沫器（21），三层NaOH淋洗液的净化处理；所述全自动上下一体行车式往返刮板机（4）由控制器、行车驱动装置（41）、提升驱动装置（42）、双轨道导轨（44）、行车（43）、刮板支架（48）、上刮板（49）和下刮板（40）组成；行走驱动装置（41）提供行车（43）来回往返移动的动力，提升驱动装置（42）提供上刮板（49）和下刮板（40）同时上升及下降的动力，双轨道导轨（44）分别安装在渣水收集池（14）的两侧池壁上部，行车（43）整体安装放置在双轨道导轨（44）上，行车驱动装置（41）和提升驱动装置（42）放置在行车（43）上，随行车（43）共同运动，上刮板（49）和下刮板（40）与行车（43）之间是通过绞链连接，上刮板（49）和下刮板（40）的上升和下降由一根吊绳（47）完成，提升驱动装置（42）与吊绳（47）连接，控制器发出前进和后退信号，行车（43）自动沿着双轨道导轨（44）作来回移动或者往返移动，控制器发出上升和下降的信号，上刮板（49）和下刮板（40）同时作提升或下降动作。