元件安装装置及元件安装装置的校正方法

摘要

本发明能够通过一个识别用相机来拍摄设于基台侧的基准标记和设于安装头侧的基准标记。相对于识别用相机(50)的光轴，对从上方识别设于基板(B)的基板标记(BM)的基板识别用光路(81)和从下方识别吸附于吸嘴(55)的元件的元件识别用光路(82)进行分割设置，将经由基板识别用光路所拍摄的第一基准标记(91)设于基台侧的预定位置，将经由元件识别用光路所拍摄的第二基准标记(93)设于安装头(47)侧的预定位置，并具备计算单元，通过利用识别用相机拍摄第一基准标记和第二基准标记，算出第一基准标记和第二基准标记相对于识别用相机的光轴的位置关系。

主权项

一种元件安装装置，具备：基台，将基板定位保持于安装位置；移动台，被以能够相对于该基台而沿X轴方向和Y轴方向移动的方式进行支撑；安装头，以能够拆装的方式安装于该移动台，具有吸附由元件供给装置供给的元件的吸嘴，并将吸附于所述吸嘴的元件安装到定位保持于所述安装位置的所述基板上；及识别用相机，与所述移动台一体设置，所述元件安装装置的特征在于，相对于所述识别用相机的光轴，对从上方识别设于所述基板的基板标记的基板识别用光路和从下方识别吸附于所述吸嘴的元件的元件识别用光路进行分割设置，将经由所述基板识别用光路所拍摄的第一基准标记设于所述基台侧的固定位置，将经由所述元件识别用光路所拍摄的第二基准标记设于所述安装头侧的预定位置，所述元件安装装置具备计算单元，通过利用所述识别用相机拍摄所述第一基准标记和所述第二基准标记，根据所述第一基准标记和所述第二基准标记相对于所述识别用相机的光轴的位置关系来算出校正值。