一种低能耗微定位驱动器

摘要

一种低能耗静电微定位驱动器，属于微电子机械系统(MEMS)。该静电驱动器主要包括两端固定于基体上的弧形全柔性梁，可动梳齿型驱动部件通过线性弹簧与弧形全柔性梁上的特定点连接。在电压激励下，可动梳齿带动全柔性梁横向运动，迅速发生跳跃并达到预定的位置；在施加异向驱动电压时，迅速跳转返回原始位置，实现准确定位的功能。该静电驱动器采用非线性全柔性机构来代替传统的线弹性结构以提高响应速度和稳态保持能力，无需外界能量输入即可保持定位点位置，具有机构简单、短程驱动、能耗低和抗干扰能力强的特点。

主权项

一种低能耗静电微定位驱动器，其特征在于，它主要包括固定梳齿(4)、两端固定于基底(3)的全柔性梁(1)，其中可动梳齿(2)与承载平台(5)通过构件(2a)连接成一体，在电压激励下，可动梳齿(2)带动全柔性梁横向运动，并发生快速翻转到预定位置，在施加异向驱动电压时，驱动器迅速跳转返回初始状态(第一稳态位置)。