用于底层的芳香族树脂

摘要

某种芳香族醇与某种二芳基取代的脂肪族醇的聚合反应产物被用作半导体生产工艺中的底层。

主权项

一种下述单体的聚合反应产物：一种或多种式(1)的第一单体其中Ar¹和Ar²独立地表示芳香族部分；R¹和R²独立地选自C₁‑C₂₀烷基，C₂‑C₂₀烯基，C₂‑C₂₀炔基，C₆‑C₃₀芳基，C₇‑C₃₀芳烷基和C₇‑C₃₀烷芳基；X¹选自OH，SH和OR³；R³为C₁‑C₂₀烷基；和每个n1和n2独立地为选自0‑5的整数；其中R¹和R²可以一起形成5‑7元的稠环；一种或多种式(2)的第二单体其中Ar³和Ar⁴独立地表示芳香族部分；R⁴选自羟基，C₁‑C₂₀烷基，C₁‑C₂₀烷氧基，C₂‑C₂₀烯基，C₂‑C₂₀炔基，巯基，C₁‑C₂₀烷硫基，C₆‑C₃₀芳基，C₇‑C₃₀芳烷基和C₇‑C₃₀烷芳基；R⁵选自C₁‑C₂₀烷基，C₂‑C₂₀烯基，C₂‑C₂₀炔基，C₆‑C₃₀芳基，C₇‑C₃₀芳烷基和C₇‑C₃₀烷芳基；X²选自OH，SH和OR⁶；R⁶为C₁‑C₂₀烷基；n3为0‑4的整数；和n4为0‑5的整数；其中R⁴和R⁵可以一起形成5‑7元的稠环；和任选的一种或多种式(3)的第三单体其中R⁷选自羟基，C₁‑C₂₀烷基，C₁‑C₂₀烷氧基，C₂‑C₂₀烯基，C₂‑C₂₀炔基，巯基，C₁‑C₂₀烷硫基，C₆‑C₃₀芳基，C₇‑C₃₀芳烷基和C₇‑C₃₀烷芳基；R⁸选自C₁‑C₂₀烷基，C₂‑C₂₀烯基，C₂‑C₂₀炔基，和C₇‑C₃₀芳烷基；X³选自OH，SH和OR⁹；R⁹为C₁‑C₂₀烷基；和Ar⁵为芳香族部分。